净化知识
本文介绍8x8ⅹ华人永久免费视颍 洁净厂房净化检测需要检测哪些数据?
温度的检测
相对湿度的控制
1、测试状态的确定
2、空气中粒子的浓度
3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)
4、风量和换气次数
5、最终过滤器的整体性
6、空气温度和湿度
7、洁净室的密闭性
8、洁净室表面的洁净度
洁净度检测
空气粒子浓度的检测
洁厂房和洁净车间均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。
空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。
在确定实际洁净车间的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。
所列为整数级别序数N和最常见值D的粒子最大允许浓度
ISON级 |
粒子最大允许浓度Cn颗m3,粒径≥下列值,微米 |
|||||
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
1.0 |
5.0 |
|
ISO 1级 |
10 |
2 |
- |
- |
- |
- |
ISO 2级 |
100 |
24 |
10 |
4 |
- |
- |
ISO 3级 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
- |
ISO 4级 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
- |
ISO 5级 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
ISO 6级 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
ISO 7级 |
- |
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
ISO 8级 |
- |
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
ISO 9级 |
- |
|
|
|
8320000 |
293000 |
备注:浓度值Cn应四舍五入,小数点后保留三位,在实际情况下粒子浓度的实际误差是存在的,求不出精度很高的浓度。 |
ISO 4级;静态;给定粒径0.5微米(352粒子/m3)。
ISO 5级;静态;给定粒径0.5微米(3520粒子/m3);5.0微米(29粒子/m3)。
因此,在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时,不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。
在检测洁净厂房的洁净度级别时,应测定洁净室内1点或数点的悬浮粒子浓度(即取样点的粒子浓度)。
因此必须满足下列要求
1)确认洁净室的状态与给定的相符;
2)确定给定粒径,洁净室取样点的数量和位置;
3)确定每一取样点的取样数量;
4)确定对每一种给定粒径在每1取样点上,每1次取样的取样量和取样时间;
5)取样之后应对每一种给定粒径的粒子进行相应统计;
6)将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内(适于采用无计算机软件的粒子计数器的场合下);
7)整理取得的数据;
8)对结果进行分析;
9)整理方案确定级别应符合上表要求。
气流的检测
气流风速(通常是控制单向气流的风速)
气流均匀性(单向气流风速稳定性)并目视检查气流。
空气(单向气流)的风速和风量
空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。
测试点的数量应大于被测表面面积的平方根,但不得小于3,应在每一个设定的网格中进行测量,测量点应均匀地分布在平面上。
应在距离过滤器表面150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时,应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速。
每1点的测量时间不得少于10秒。并且要确定平均值,最大和最小值。
根据在垂直于空气运动方向的平面上各点的风速测试数据,评价单向气流的均匀性,建议该平面应距离过滤器表面(风口)300毫米以上。
平面上各点处的风速相差不得超过20%-30%。
检验过滤器的整体性
最终过滤器(HEPA,ULPA过滤器)是洁净室的重要部分。这些过滤器安设在洁净室的吊顶和墙上,装在设备和风管内。应进行泄漏检查,以控制过滤器的整体性,过滤器的渗漏意味着粒子的渗漏,会超过ГOCTP5125-99。
制造商应在厂内对过滤器作最大穿透粒径试验,附过滤器检测报告,现场不做检漏。
在洁净室内采用两种方法控制温度:
n 一般控制
n 特殊控制
(一般控制)在通风空调系统投产-调试时,以及在洁净室检测的各个阶段和使用阶段均要进行温度的一般控制。
规定工作席工作区高度处的温度,以及必要时,其他工作点的温度都要加以控制。
在1小时或更多一些的时间内应周期性的连续测试6分钟。
待通风空调系统工作稳定后,相对湿度的控制可与温度的测量同时进行。
至少在每一处对相对湿度有要求的区域内设1个点进行相对湿度的测量,为了使传感器持续稳定,测量的持续时间不得少于6分钟。
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